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在線TOC分析儀在電子行業(單晶硅)沖洗水TOC檢測的應用

發布時間:2023-02-28

電子芯片清洗對其用水要求極為嚴格,如果沖洗水的雜質過多,某些元素超標的話,會對企業的生產運行產生隱患。因此,對于這些指標進行監測就是工廠在日常運行當中必須要進行的重要工作,而這其中,TOC就是一項重要的指標。

TOC(總有機碳)指的是水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。對于電子行業來說,沖洗水中含有超標的TOC可能使工廠面臨巨大的風險損失,例如有機物的碳化沉積和腐蝕性引起芯片、電子元件和晶元的缺陷等。

電子級水TOC標準

我國的國家標準《GB/T 11446.1-2013電子級水》中對TOC(總有機碳)的含量做出了明確的規定。

電子級水:電子和半導體工藝過程中所用的高純水。

分類:電子級水分為4個類別,Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級和Ⅳ級。

TOC(總有機碳)的含量:

Ⅰ級≤20ug/L;

Ⅱ級≤100ug/L;

Ⅲ級≤200ug/L;

Ⅳ級≤1000ug/L。

Bebur(巴倍爾)在線TOC分析儀

Bebur(巴倍爾)在線TOC分析儀采用UV法(紫外光譜)原理檢測水中的TOC數值,無需化學試劑,無需取樣或預處理系統,可以減少用戶現場維護量。

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